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我國造出世界最大面積中階梯光柵

文字:[大][中][小] 手機(jī)頁面二維碼 2017/8/23     瀏覽次數(shù):    
       由該所承擔(dān)的國家重大科研裝備研制項(xiàng)目“大型高精度衍射光柵刻劃系統(tǒng)的研制”11日通過驗(yàn)收,并制造出世界大面積中階梯光柵。這標(biāo)志著我國大面積高精度光柵制造中的相關(guān)技術(shù)達(dá)到國際水平,結(jié)束了在高精度大尺寸光柵制造領(lǐng)域受制于人的局面。
      衍射光柵是一種納米精度周期性微結(jié)構(gòu)的精密光學(xué)元件,在光譜學(xué)、天文學(xué)、激光器、光通訊、信息存儲(chǔ)等領(lǐng)域中有重要應(yīng)用。光柵面積大可獲得高集光率和分辨本領(lǐng),精度高可獲得更好的信噪比,但制造出大而精的光柵是世界性難題。
      光柵刻劃機(jī)是制作光柵的母機(jī),因其部件的加工裝調(diào)精度難,運(yùn)行保障環(huán)境要求高,被譽(yù)為“精密機(jī)械之王”,本項(xiàng)目研制的光柵刻劃機(jī),幾乎所有關(guān)鍵部件都沖擊世界極限水平。研制期間,科研人員突破了精密機(jī)械加工、精密光學(xué)加工、精密檢測、高精度微位移控制等一系列關(guān)鍵技術(shù),并研制出面積達(dá)400毫米×500毫米、精度為10納米的光柵,這也是目前世界上面積大的中階梯光柵。
      此前,只有美國能夠制作300毫米以上中階梯光柵,我國的中階梯光柵制造能力不足300毫米,精度也達(dá)不到10納米精度水平,戰(zhàn)略高技術(shù)領(lǐng)域所需要的高精度大尺寸光柵受到國外嚴(yán)格限制。項(xiàng)目負(fù)責(zé)人、中科院長春光機(jī)所研究員唐玉國表示,大型高精度光柵刻劃系統(tǒng)以及大面積中階梯光柵的研制成功,能幫助我國光譜儀器行業(yè)擺脫“有器無心”局面,改變我國光譜儀器產(chǎn)業(yè)處于行業(yè)低端現(xiàn)狀。
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